咨詢服務熱線：
18953016185
18953016185
Product classification
魯齊天公司深耕化工分離提純領域，專注于精餾塔技術裝備；憑借深厚的專業技術底蘊，為客戶提供全方位、全流程的優質服務。公司擁有專業的化工設計院，化工實驗室，實驗設備研發制造車間，工業化裝備生產車間。以精餾技術為主，耦合萃取、吸附、共沸、膜分離、反應等化工技術的咨詢、模擬計算、分析測試、方案設計、工藝包開發、化工設備設計、塔內件的研發與制造；是一家集科研、設計、制造、服務于一體的專注精餾科技型企業。
EP級精餾裝置，即Electronic Pure級精餾裝置，是專為電子工業設計的高精度氣體提純設備。它通過多次、精密的精餾過程，去除氣體中的微量雜質（如水分、金屬離子、碳氫化合物等），使氣體純度達到99.999%（5N）以上，部分場景可實現99.9999%（6N）純度。
主要應用于半導體芯片制造、光伏電池生產、高端電子元件加工等領域，為刻蝕、沉積等關鍵工藝提供高純度電子特氣（如氫氣、氧氣、氨氣等），直接影響產品良率與性能。
核心工作原理
基于“不同物質沸點差異”的精餾原理，結合電子級生產的嚴苛要求，流程分為三步：
預處理階段：原料氣先經過過濾、干燥等預處理，去除大部分固體顆粒與水分，避免后續設備堵塞或污染。
精密精餾階段：預處理后的氣體進入特制精餾塔，塔內通過塔板或填料增加氣液接觸面積。利用塔底加熱、塔頂冷凝的循環，使氣體中的易揮發組分（目標氣體）與難揮發組分（雜質）反復分離，逐步提升純度。
后提純階段：從精餾塔頂部產出的氣體，再經過吸附、膜分離等二次提純，進一步降低微量雜質含量，達到EP級標準。
關鍵技術特點
材質特殊：為滿足極致提純需求，EP級精餾裝置接觸氣體的部件（如精餾塔、管道、閥門）多采用316L不銹鋼或哈氏合金，且內壁經過電解拋光（EP拋光），減少雜質吸附與溶出。
控制精準：配備高精度溫度、壓力、流量傳感器與自動控制系統，可實時調節精餾參數（如塔內溫度差控制在±0.1℃內），確保純度穩定。
超低泄漏設計：采用無死角密封結構與氦質譜檢漏技術，泄漏率控制在1×10??Pa?m3/s以下，防止外界雜質滲入。
聯系人：朱總
手機：18953016185
郵箱：18953016185@189.cn
地址：山東省菏澤市牡丹區西城街道蘭州路1666號段莊小學北30米
您當前位置：